マスク製造装置
マスク露光装置
2008年9月15日更新

日本
日本電子(株) 電子ビーム描画装置
(株)ニューフレアテクノロジー 電子ビームマスク描画装置
ドイツ連邦共和国
Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH レーザー直接描画装置New
(株)日本レーザー

    
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