マスク製造装置 マスク欠陥検査装置 ２００８年１１月２１日更新

日本 (株)高岳製作所 半導体向けフォトマスク検査装置 (株)高岳製作所エレクトロニクス装置事業部 日本電子（株） マスク観察走査顕微鏡JWS7855S (株)ホロン マスク欠陥検査装置：DIS-05 ライトロン（株）New 検査装置New レーザーテック（株） フォトマスク欠陥検査装置 海外 Applied Materials,Inc. ARIS100i Mask Inspection アプライドマテリアルジャパン(株) Carl Zeiss Co., Ltd. マスクインスペクション カールツァイス(株) KLA-Tencor 次世代レチクル異物・欠陥検査装置／ＴｅｒａＳｔａｒ ケーエルエー・テンコール(株) Probing Solutions Inc. Photmask Stations Zygo Advanced Imaging Systems Automated Mask Defect Analysis

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