ミニマルファブ
団体・製造装置等
2024年1月5日更新

推進団体
ファブシステム研究会  
(一社)ミニマルファブ推進機構  

半導体製造装置

ウェット処理
(株)プレテック 製品情報
(株)ゼビオス 製品情報

コーターデベロッパー
リソテックジャパン(株) ミニマル

マスクレス露光
(株)ピーエムティー 製品情報
ミニマルファウンドリ

マスクアライナー
(株)三明 製品情報

電子ビーム露光装置
(株)TCK デバイス加工

ナノインプリント
(株)三明New 製品情報

エピタキシャル成長
(株)エピクエスト 製品紹介

酸化炉
光洋サーモシステム(株) 製品情報
(株)米倉製作所New 製品紹介
坂口電熱(株)New 製品情報

高圧酸化炉
光洋サーモシステム(株) 製品情報

パイロ酸化炉
光洋サーモシステム(株) 製品情報

スパッタ
誠南工業(株)New 製品一覧
(株)片桐エンジニアリング スパッタ
(株)菅製作所 製品情報
(株)ワイドテクノ  

EB蒸着装置 
アリオス(株) 製品情報

抵抗加熱型CVD炉
光洋サーモシステム(株) 製品情報

集光型CVD炉
(株)米倉製作所 集光式加熱装置

PE-CVD
SPPテクノロジーズ(株) 製品一覧
(株)コーテック ミニマルファブ
誠南工業(株) 製品一覧

ドライエッチング
(株)片桐エンジニアリング 製品情報
(株)三友製作所 製品一覧
SPPテクノロジーズ(株) 製品一覧

アッシャ
(株)片桐エンジニアリング 製品情報
(株)三友製作所 製品一覧
SPPテクノロジーズ(株) 製品一覧

ウェットエッチング
(株)プレテック 製品情報

イオン注入
フジ・インパック(株) 真空関連

SODコータ
リソテックジャパン(株) 主要製品

熱拡散
光洋サーモシステム(株) 製品情報

レーザー加熱炉
坂口電熱(株) 製品情報

ウェットレジスト除去
(株)ゼビオス 製品情報
(株)プレテック 製品情報
(株)米倉製作所 製品情報

CMP
不二越機械工業(株) 製品情報

ウエハ検査
(株)TCK CD-SEM
(株)山梨技術工房 製品一覧
(株)堀場エステック 半導体
(株)三明 製品情報
リソテックジャパン(株) 主要製品

プラズマ

PZTコータ
リソテックジャパン(株) 主要製品
坂口電熱(株) 製品情報

イオンミリング
(株)片桐エンジ ニアリング 製品情報

半導体製造装置(後工程)

ラミネータ
ディスコ(株) 製品情報

グラインダ
ディスコ(株) 製品情報

ダイサー
ディスコ(株) 製品情報

テスタ

ダイボンディング
(株)石井工作研究所 製品情報

チップ接合

バンク接合

ドライエッチング/3DIC
誠南工業(株) 製品一覧

モールド成形装置
アピックヤマダ(株) 製品情報

レーザアブレーション
澁谷工業(株) 半導体製造

銅無電解メッキ
石田産業(株) 事業内容
熊本防錆工業(株) IC事業部
(株)晴喜製作所  

ソルダレジスト塗布
テクノデザイン(株)  

ボールマウンタ
澁谷工業(株) 半導体製造

リフロー炉
リソテックジャパン(株) 主要製品
坂口電熱(株) 製品情報

ウエハ製造

ウエハ(くり抜き)
(株)Hundred SemiconductorsNew サービス
三菱マテリアルトレーディング(株)New 製品情報
(株)イーディーピーNew 製品情報

部品

バルブ
(株)フジキン 製品情報
CKD(株)New 製品情報
SMC(株)New 製品情報

流量コントローラ
(株)堀場エステック 製品情報

装置筐体
サンヨー(株) 事業内容
(株)デザインネットワーク 強み

搬送

前室システム
(株)三明 製品情報
(株)TCKNew 製品情報
立山マシン(株)New 事業内容

ウエハ搬送ロボット

ウエハ移載機
アイチシステム(株) 業務内容

ウエハ反転機
(株)三明 製品情報

設計ツール
TOOL(株) 製品紹介
(株)ロジックリサーチ 事業内容

販売・ソリューション提供
横河ソリューションサービス(株) ミニマルファブ
稲畑産業(株)New 事業紹介

デバイス開発受託
(株)Hundred SemiconductorsNew サービス

  
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2013年3月26日制定