マスク製造装置
寸法・ピッチ測定装置
2017年7月4日更新

日本
(株)アドバンテスト SEMメトロロジー
(株)ホロン フォトマスク用CD-SEM
海外
Applied Materials,Inc. AERA4New
アプライドマテリアルジャパン(株)

    
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2000年8月27日制定