ウエハ検査装置
自動マクロ検査装置
2011年4月23日全面更新

日本
芝浦メカトロニクス(株) ウェーハ自動外観検査装置
シャープ(株) 検査装置
シャープマニファクチャリングシステム(株)
(株)ニコンインストルメンツカンパニー 自動マクロ検査装置
(株)フジコム 高速自動マクロ検査装置
アメリカ合衆国
KLA-Tencor ウェハ用マクロ検査
ケーエルエー・テンコール(株)

    
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2001年1月22日制定