ウエハ検査装置
光学式寸法測定装置
2019年2月28日更新
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日本
ミカサ(株) 線幅測定装置
アメリカ合衆国
KLA-Tencor Optical CD
ケーエルエー・テンコール(株)
Nanometrics Inc. Scatterrometry
ナノメトリクス・ジャパン(株)
Qiality Vision International CD Measurement 
VIEW Engineerring
YKT(株)

    
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2001年1月22日制定