ウエハ検査装置
エリプソメーター
2008年3月29日更新

大塚電子(株) 分光エリプソメータ/FE-5000
ファイブラボ(株) 自動偏光解析装置/MARY-102
(株)堀場製作所 全自動超薄膜計測システム/UT-300
(株)溝尻光学工業所 自動エリプソメータ
(株)モリテックス エリプソメータ
Nanofilm Technology GmbH イメージングエリプソメーター/I-Elli2000
盟和商事(株)
Rudolph Technologies,Inc. FEZand FEZ-S Syatems
SENTECH Instrumants GmbH 分光エリプソメーター/SE800,900シリーズ
(株)アイメック
Sopara SA 分光エリプソメーター/MOSS
西華産業(株)

    
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