ウエハ検査装置
平坦度測定装置
2018年9月20日更新

日本
エスオーエル(株) 平面度測定機
平面度・平行度・高さ測定機
平面度(平坦度)測定機
黒田精工(株) 平坦度検査装置New
(株)コベルコ科研 平坦度・形状測定装置
(株)コベルコ科研LEO事業本部
ナプソン(株) フラットネス・厚さ測定
(株)二デック フラットネステスター
(株)溝尻光学工業所 平面度測定器
ラップマスターエスエフティ(株) ウエハ測定装置
海外
Corning Tropel Corp. ウェーハ平面度測定機
エスオーエル(株)
Logitech Ltd. Measurement 
sentronics metrology GmbH Wafers

    
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2001年1月22日制定