ウエハ検査装置
段差・表面粗さ測定装置
2019年1月9日更新

日本
(株)ウェル 表面粗さ測定器
エスオーエル(株) 非接触粗さ測定器
ヤマト科学(株) 表面観察装置
ユニオン光学(株) 非接触段差測定機
海外
Filmetrics, Inc. 3次元表面形状測定システムNew
フィルメトリクス(株)
KLA-Tencor アルファステップIQ  
ケーエルエー・テンコール(株)
ヤマト科学(株)
Polytec GmbH 表面形状測定システム
ポリテック

    
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2001年1月22日制定