ウエハ検査装置
FTIR
2008年3月30日更新
ニューリー・インスツルメンツ(株)
ウェーハ測定用FTIR Series
Nicolet Instruments Corp.
SMIF型半導体分析用FT-IR/ECO-2000
ニコレー・ジャパン(株)
Thermo Fisher Scientific Inc.
FT-IR/ラマン
サーモフィッシャーサイエンティフィックス(株)
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2001年1月22日より
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