装置ユニット
Ｔ/Ｃ付ウエハ
２０１８年１０月２３日全面更新
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日本
安立計器(株) 熱電対付ウエーハ
川惣電機工業(株) ウエハモニタ用熱電対
坂口電熱(株) 熱電対(T/C)付ウェハー
千代田交易(株) サーモカップルウェーハ
日本ケミコン(株) 熱電対取付加工
日本フェンオール(株) 熱電対付ウエーハ
(株)ミヤビインターナショナル TCウェハ
海外
KLA Tencor Process Probe
ケーエルエー・テンコール(株)

　　　　
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2001年5月21日制定