2005年10月31日更新(サンプル版)
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京浜測器(株)
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シリコンラバーヒータ
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ポリイミドヒータ
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マイカヒータ
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京セラ(株)
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京セラ(株)ファインセラミック部品
真空チャック
静電チャック
サファイア静電チャック“シースルーチャック
高純度AlNセラミックヒーター
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信越化学工業(株)
工程材料/ウェーハ用クーリングステージ
精密材料事業部/シリコン電極板、ヒーター付静電チャック
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(株)眞空精工
受託加工/プロセス電極他
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住友大阪セメント(株)
半導体製造部品/静電チャック
半導体製造部品/アドバンシック
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セランクス(株)
用途例/ウエハーチャック
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テクノクオーツ(株)
応用加工製品/ホットプレートヒータ
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東陶機器(株)
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東陶機器(株)精密セラミックス&機電製品
静電チャック
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(株)巴川製紙所
静電チャック装置
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日本ガイシ(株)
Heater
Electrostatic Chuck
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日本特殊陶業(株)
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真空チャック用プレート
静電チャック用プレート
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(株)富士通東北エレクトロニクス
静電チャック
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(株)ルネサス東日本セミコンダクタ
New
ナノフラットウエハチャック/NANOFLAT Wafer Chuch
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Advanced Ceramics Corp.
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アドバンス・セラミックス・インターナショナルコーポレーション
PG/PBNヒータ、静電チャック
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Advanced Ceramics Corp.
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巴工業(株)
PG/PBNヒーター
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