2005年10月31日更新(サンプル版)

京浜測器(株)New
  シリコンラバーヒータポリイミドヒータ
  マイカヒータ

京セラ(株)京セラ(株)ファインセラミック部品
  真空チャック
  静電チャック
  サファイア静電チャック“シースルーチャック
  高純度AlNセラミックヒーター

信越化学工業(株)
  工程材料/ウェーハ用クーリングステージ
  精密材料事業部/シリコン電極板、ヒーター付静電チャック

(株)眞空精工
  受託加工/プロセス電極他

住友大阪セメント(株)
  半導体製造部品/静電チャック
  半導体製造部品/アドバンシック

セランクス(株)
  用途例/ウエハーチャック

テクノクオーツ(株)
  応用加工製品/ホットプレートヒータ

東陶機器(株)
 /東陶機器(株)精密セラミックス&機電製品

  静電チャック

(株)巴川製紙所
  静電チャック装置

日本ガイシ(株)
  Heater
  Electrostatic Chuck

日本特殊陶業(株)New
  
真空チャック用プレート
  
静電チャック用プレート

(株)富士通東北エレクトロニクス
  静電チャック

(株)ルネサス東日本セミコンダクタNew
  
ナノフラットウエハチャック/NANOFLAT Wafer Chuch


Advanced Ceramics Corp.
アドバンス・セラミックス・インターナショナルコーポレーション

  PG/PBNヒータ、静電チャック

Advanced Ceramics Corp.巴工業(株)
  PG/PBNヒーター

    
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