| ＩＮＤＥＸ |
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| １．中古装置市場価格 |
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| 1.1.前工程 |
１）ウエハ洗浄・乾燥装置・・・ |
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２）エピタキシャル成長装置・・ |
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３）CVD装置・・・・・・・・・・・・・ |
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４）コーターデベロッパー・・・・ |
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５）リソグラフィ・・・・・・・・・・・・ |
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６）ウエハ検査装置・・・・・・・・ |
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７）ドライエッチャー・・・・・・・・・ |
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８）ウェットエッチャー・・・・・・・ |
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９）レジスト除去装置・・・・・・・ |
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１０）拡散・酸化・RTP・・・・・・・・ |
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１１）イオン注入装置・・・・・・・・ |
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１２）ポリイミドコーター・・・・・・・ |
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１３）SOG/SODコーター・・・・・・ |
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１４）めっき装置・・・・・・・・・・・・ |
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１５）スパッタ装置・・・・・・・・・・・ |
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１６）CMP装置・・・・・・・・・・・・・ |
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| 1.2.アセンブリ工程 |
１）裏面研磨装置・・・・・・・・・ |
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| 1.3.テスト工程 |
１）テストシステム・・・・・・・・・ |
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2006.12.11 |
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| 1.4.参考 |
１）利用上の注意・・・・・・・・・・ |
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2006.12.11 |
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| ２．半導体工場買収額 |
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