ミニマルファブ
団体・製造装置等
2018年9月20日更新

推進団体
ファブシステム研究会  
(一社)ミニマルファブ推進機構  

半導体製造装置

ウェット処理
(株)プレテック 製品情報
(株)ゼビオス 製品情報

コーターデベロッパー
リソテックジャパン(株) ミニマル

マスクレス露光
(株)ピーエムティー 製品情報
ミニマルファウンドリ
(株)大日本科研 製品情報

マスクアライナー
(株)三明 製品情報

電子ビーム露光装置
(株)TCK デバイス加工

ナノインプリント
リソテックジャパン(株) ミニマル

エピタキシャル成長
(株)エピクエスト 製品紹介

酸化炉
光洋サーモシステム(株) 製品情報

高圧酸化炉
光洋サーモシステム(株) 製品情報

パイロ酸化炉
光洋サーモシステム(株) 製品情報

スパッタ
誠南工業(株) スパッタ
(株)片桐エンジニアリング 製品情報

抵抗加熱型CVD炉
光洋サーモシステム(株) 製品情報

集光型CVD炉
(株)米倉製作所 集光式加熱装置
アイチシステム(株) 業務内容
岡本硝子(株) 製品紹介

PE-CVD
SPPテクノロジーズ(株) 製品一覧
(株)コーテック ミニマルファブ
誠南工業(株) 製品一覧

ドライエッチング
(株)片桐エンジニアリング 製品情報
(株)三友製作所 製品一覧
SPPテクノロジーズ(株) 製品一覧

アッシャ
(株)片桐エンジニアリング 製品情報
(株)三友製作所 製品一覧
SPPテクノロジーズ(株) 製品一覧

ウェットエッチング
(株)プレテック 製品情報

イオン注入
フジ・インパック(株) 真空関連

SODコータ
リソテックジャパン(株) 主要製品

熱拡散
光洋サーモシステム(株) 製品情報

レーザー加熱炉
坂口電熱(株) 製品情報

ウェットレジスト除去
(株)プレテック 製品情報
リソテックジャパン(株) 主要製品
(株)米倉製作所 製品情報
立山マシン(株) 事業内容

CMP
不二越機械工業(株) 製品情報

ウエハ検査
(株)TCK CD-SEM
(株)山梨技術工房 製品一覧
(株)堀場エステック 半導体
(株)三明 製品情報
(株)リガク 半導体・電子材料
リソテックジャパン(株) 主要製品
アワーズテック(株) 製品一覧

プラズマ

PZTコータ
リソテックジャパン(株) 主要製品
坂口電熱(株) 製品情報

イオンミリング
(株)片桐エンジ ニアリング 製品情報

半導体製造装置(後工程)

ラミネータ
ディスコ(株) 製品情報

グラインダ
ディスコ(株) 製品情報

ダイサー
ディスコ(株) 製品情報

テスタ
エスティケイテクノロジー(株) テスト関係

ダイボンディング
(株)石井工作研究所 製品情報

チップ接合
(株)アドウェルズ チップ接合装置

バンク接合
(株)アドウェルズ チップ接合装置

フリップチップボンダ
(株)アドウェルズ フィリップチップ

ワイヤボンダ
(株)カイジョー ボンディング

ドライエッチング/3DIC
(株)新興精機 製品情報
誠南工業(株) 製品一覧

モールド成形装置
アッピックヤマダ(株) 製品紹介

レーザアブレーション
澁谷工業(株) 半導体製造

銅無電解メッキ
熊本防錆工業(株) IC事業部
(株)晴喜製作所  

ソルダレジスト塗布
(株)石井工作研究所 製品情報

ボールマウンタ
澁谷工業(株) 半導体製造

リフロー炉
リソテックジャパン(株) 主要製品
坂口電熱(株) 製品情報

ウエハ製造

ウエハ(くり抜き)
不二越機械工業(株) 製品情報

部品

バルブ
(株)フジキン 製品情報

流量コントローラ
(株)堀場エステック 製品情報

装置筐体
サンヨー(株) 事業内容
(株)デザインネットワーク 強み

搬送

前室システム
アイチシステム(株) 業務内容
(株)三明 製品情報

ウエハ搬送ロボット

ウエハ移載機
アイチシステム(株) 業務内容

ウエハ反転機
(株)三明 製品情報

設計ツール
TOOL(株) 製品紹介
(株)ジーダット 製品情報
(株)ロジックリサーチ 事業内容

販売・ソリューション提供
横河ソリューションサービス(株) ミニマルファブ

モデルルーム
大成建設(株) サービス

  
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2013年3月26日制定