ウエハ製造装置 ２０２２年４月１７日更新
・ウエハ製造装置 　単結晶引上装置(3) 　外径研削 　ブロック切断装置 　OF溝入装置 　スライシング装置(7) 　ウエハエッジ研磨装置(7) 　両面研磨装置(5) 　グラインダー(6) 　ポリッシュ・ラッピング装置(19) 　剥離・洗浄装置(2)	・ウエハ製造検査装置 　ウエハ製造用検査装置(5) 　形状・欠陥検査装置(3) ・エピタキシャル装置 　エピタキシャル成長装置(7) 　ＭＢＥ装置(7) ・化合物半導体用装置 　MOCVD装置(11)New
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2000年9月4日制定