半導体製造装置/RTP装置

半導体製造装置
ＲＴＰ装置
２０２４年３月２１日更新


(株)インターテック販売New	RTP装置

日本
(株)SCREENホールディング	熱処理装置
(株)SCREENセミコンダクターソリューション	熱処理装置
(株)テックインテック	ランプアニール装置
アドバンス理工(株)	RTA装置
ウシオ電機（株）	光加熱装置
光洋サーモシステム(株)	ランプアニール装置
(株)第一機電	高温アニール装置
ワイエイシイホールディング(株)	レーザーアニーラ
ワイエイシイビーム(株)	レーザーアニーラ
海外
Allwin21 Corp.	高速熱処理装置
ハイソル(株)	高速熱処理装置
AnnealSys	RTP
Applied Materials,Inc.	高速熱処理
アプライドマテリアルジャパン(株)	高速熱処理
Levitech BV	RTP
レビテックジャパン(株)	RTP
Mattson Technology, Inc.	ランプアニーリング装置
キヤノン	ランプアニーリング装置
OEM Group Inc.	AGHeatpulse8800
キヤノン	AGHeatpulse8800
Premtek International Inc.New	RTP装置
(株)インターテック販売New	RTP装置
SEMCO Technologies	RTP
UniTemp GmbH	高速アニール炉
ユニテンプジャパン(株)	高速アニール炉

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2000年9月18日制定