半導体製造装置
アッシング装置
2018年8月4日更新

日本
(株)KOKUSAI ELECTRIC 枚葉アッシング装置
(株)国際電気セミコンダクターサービス 半導体製造装置
(株)VICインターナショナルNew アッシング装置New
(株)アルバック アッシング装置
(株)ウェル アッシング装置
(株)エスクラフト プラズマ装置
キヤノン アッシング装置
サムコ(株) ドライ洗浄装置
(株)シー・ヴィ・リサーチ Ashing
芝浦メカトロニクス(株) エッチング装置
神港精機(株) エッチング装置
(株)電子技研 プラズマ処理装置
(株)日立国際電気 枚葉アッシング装置
(株)メイコー アッシング装置
ヤマト科学(株) プラズマ装置
(株)リバティー プラズマ処理機
ワイエイシイ(株) アッシング装置
ワイエイシイテクノロジーズ(株)
海外
Axic, Inc PlasmaSTAR200
Lam Research Corp. Photoresist Strip
ラムリサーチ(株)
Mattson Technology, Inc. アッシング装置
キヤノン
Yield Engineering Systems, Inc. プラズマクリーナー
プラズマストリッパー
ハイソル(株)

    
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2000年11月13日制定