半導体製造装置
ウェットレジスト除去装置
２０１７年１２月３０日更新
日本
(株)MTK
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枚葉式洗浄装置
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(株)SCREENホールディング
ポリマ除去装置
(株)SCREENセミコンダクターソリューションズ
アクアサイエンス(株)
オゾン水洗浄装置
(株)エムテーシー
レジスト剥離装置
ジャパンクリエイト(株)
レジスト剥離装置
(株)ダルトン
レジスト剥離装置
海外
TEL FSI,Inc.
TEL FSI Products
アプリシアテクノロジー(株)
Veeco Instruments Inc.
枚葉式半導体表面処理装置
日本技術産業(株)
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2000年11月13日制定
