ウエハ検査装置
エリプソメーター
2017年5月31日更新

日本セミラボ(株)New 分光エリプソメーター
日本
大塚電子(株) 分光エリプソメータ
ファイブラボ(株) エリプソメータ
(株)堀場製作所 分光エリプソメータ
(株)溝尻光学工業所 自動エリプソメータ
海外
Accurion GmbH Imaging Ellipsometer
J.A.Woollam Co., Inc. エリプソメータ
ジェー・エー・ウーラム・ジャパン(株)
Rudolph Technologies,Inc. FEZand FEZ-S Syatems
SENTECH Instrumants GmbH Ellipsometer
Semilab Co., Ltd. 分光エリプソメーター
日本セミラボ(株)

    
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2001年1月22日制定