装置ユニット
ヒータユニット・モニタ
2013年3月8日更新

日本
(株)協立製作所 インラインヒーター
光洋サーモシステム(株) モルダサーム(LGO)
坂口電熱(株) ヒーター・加熱装置
新熱工業(株) 半導体用ヒーター
(株)テクノビジョン スーパークリーンヒーター
大和半導体(株) 温度プロファイラー
プランゼージャパン(株) 石英ガラス製造
(株)フェローテック サーモモジュール
(株)フルヤ金属 センサー
海外
CI Systems Ltd. ウエハ用プロセス温度計
(株)アイ・アール・システム
DATAPAQ 温度測定システム
テクノアルファ(株)
Watlow Electric Manufacturing Company ヒーターNew
兼松PWS(株)ヒーターNew

    
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