装置ユニット
クライオポンプ
２０１８年１１月２０日更新
日本
アルバック販売(株)
クライオポンプ
アルバック・クライオ(株)
クライオポンプ
(株)シンクロン
コンポーネント
住友重機械工業(株)
New
クライオポンプ
千代田交易(株)
真空ポンプ
ナガセテクノエンジニアリング(株)
クライオポンプ
海外
Agilent
New
Vacuum Technologies
Brooks Automation, Inc.
New
CTI−Cryogenics
Leybold GmbH
New
Semiconductor
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2001年5月21日制定
