クリーンルーム関連／排ガス処理・PFC回収設備

クリーンルーム関連
排ガス処理・PFC回収設備
２０２２年４月１７日更新

日本
宇部興産(株)	排ガス処理装置
エアー・ウォーター(株)	排ガス処理装置
(株)荏原製作所	排ガス処理装置
オリエンタル技研工業(株)	排気ガス洗浄装置
カンケンテクノ(株)	排ガス処理装置
(株)協立製作所	排ガス洗浄装置
昭和電工(株)	PFC除害装置
大陽日酸(株)New	排ガス処理装置New
(株)東設	除害装置
(株)巴商会	排気ガス処理装置
日星産業(株)	半導体用排ガス処理装置
日本エコサイエンス(株)	熱分解式除害装置
日本パイオニクス(株)	排ガス処理装置
(株)ノア・システムズ	加熱酸化分解方式＋スクラバー
海外
Electrochemical Technology Corp.	DryScrub
Landmark Technology Co.Ltd	LGシリーズ
(株)ランドマークテクノロジー	LGシリーズ

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2001年7月23日制定