半導体製造装置
ウエハスクラバ
2017年4月25日更新

日本
東京エレクトロン(株)New サーフェスプレパーションNew
(株)MTK 枚葉式洗浄装置
(株)エム・エー・ティ 洗浄装置
(株)カナメックス 自動式スピンクリーナ
(株)ケミカルアートテクノロジー スクラバー洗浄装置
ジャパンクリエイト(株) ブラシ洗浄装置
大日本スクリーン製造(株) スクラバ
東京エレクトロン九州(株) サーフェスプレパーション
東京エレクトロン(株)
(株)マブチ・エスアンドティー 片面洗浄装置
海外
Lam Research Corp. Single-Wafer Clean
ラムリサーチ(株)

    
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2000年9月11日制定