半導体製造装置 ＬＰＣＶＤ装置 ２００８年３月２２日更新

(株)アイ・キューシステム CVD装置の設計、製作 大倉電気(株) 横型熱処理炉／縦型熱処理炉 光洋サーモシステム(株) 縦型拡散炉 東京エレクトロン東北(株) サーマルプロセスシステム 東京エレクトロン(株) (株)日立国際電気 縦型装置／次世代プロセス対応装置 Applied Materials,Inc. Thermal Processes アプライドマテリアルジャパン(株) ASM International N.V. 縦型炉/A400シリーズ 日本エー・エス・エム(株) Aviza Technology 拡散炉及びLPCVD アビザ・テクノロジー（株） Jusung Engineering Co.,Ltd. LPCVD

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