半導体製造装置
電子ビーム露光装置
2017年11月7日全面更新
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日本
(株)アドバンテスト EB露光装置
(株)エリオニクス 電子ビーム描画装置
(株)クレステック 電子線描画装置
サンユー電子(株) EB描画機器
日本電子(株) 電子ビーム描画装置
アメリカ合衆国
Vistec Electoron Beam GmbH Products
オランダ王国
MAPPER Lithography .

    
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2000年10月23日制定