半導体製造装置 酸化膜エッチャー ２００８年３月１７日更新

キヤノンアネルバ(株)New ドライエッチングシステム／I-4100シリーズ (株)エフオーアイ ドライエッチング装置QUEST SEシリーズ 芝浦メカトロニクス(株) ケミカルドライエッチング装置／CDE80N 東京エレクトロンAT(株) エッチングシステムNew 東京エレクトロン(株) パナソニックファクトリーソリューションズ(株) ドライエッチング装置New (株)日立ハイテクノロジーズ UHF-ECRプラズマエッチング装置U7000 Applied Materials, Inc. Etch アプライドマテリアルジャパン(株) Lam Research Corp. Exelan/Versys/TCP SeriesNew ラムリサーチ(株) Tegal Corp. 980ACS Etch／900ACS Etch Theis Enterprises 903e Oxide Etcher／803 Oxide Etcher Trikon Technologies Inc. 枚葉式エッチング装置OmegaNew ファーストゲート(株)

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