半導体製造装置 メタルエッチャー ２００８年３月１７日更新

キヤノンアネルバ(株)New ドライエッチングシステム／I-4100 (株)エフオーアイ ドライエッチング装置QUEST MEシリーズ パナソニックファクトリーソリューションズ(株) ドライエッチング装置New (株)日立ハイテクノロジーズ ECRプラズマエッチング装置 Applied Materials, Inc. Centura DPS Etch アプライドマテリアルジャパン(株) Jusung Engineering Co.,Ltd. DRY ETCH(Tungsten Etch) Lam Research Corp. Exelan/Versys/TCP SeriesNew ラムリサーチ(株) Tegal Corp. 6500Etch Trikon Technologies Inc. Omega 201／Omega fxP ファーストゲート(株)

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