半導体製造装置
プラズマCVD装置
2017年8月22日更新

日本
(株)アルバック ENTRON
サムコ(株) プラズマCVD装置New
(株)シー・ヴィ・リサーチ PE-CVD
住友精密工業(株) プラズマ成膜装置
マイクロンテクノロジー事業部
Surface Technology Systems Ltd.
(株)日立国際電気 枚葉プロセス装置
(株)ユニバーサルシステムズ クリーンクラスター装置
海外
Applied Materials, Inc. CVD
アプライドマテリアルジャパン(株)
ASM International PECVD
日本エー・エス・エム(株)
Axic, Inc RIE/PECVD Plasma Tool
Novellus Systems, Inc. PECVD製品
ノベラスシステムズジャパン(株)
Aviza Technology PECVD

    
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2000年11月13日制定