半導体製造装置/スパッタリング装置

半導体製造装置
スパッタリング装置
２００８年３月２１日更新

キヤノンアネルバ(株)	マルチチャンバ装置/COSMOSシリーズ
(株)アルバック	メタライゼーション装置/ENTRON PVDNew
(株)大阪真空機器製作所	スパッタリング装置
(有)江東真空	営業品目
(株)昭和真空	スパッタリング装置／SPM
(株)ユニバーサルシステムズ	スパッタ装置

AJA International, Inc.	マグネトロンスパッタ装置
(株)ユニバーサルシステムズ	マグネトロンスパッタ装置
Applied Materials,Inc.	MetallizationNew
アプライドマテリアルジャパン(株)	MetallizationNew
CHA Industries	主要製品一覧New
AUL(株)New	主要製品一覧New
Novellus Systems, Inc.	メタルPVD＆iALD装置New
ノベラスシステムズジャパン(株)	メタルPVD＆iALD装置New
Veeco Instruments Inc.	Nexus Physical Vapor DepositionNew
日本ビーコ(株)	Nexus Physical Vapor DepositionNew

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２０００年１１月１３日より

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