半導体製造装置 メタルＣＶＤ装置 ２００８年３月２１日更新

キヤノンアネルバ(株) マルチチャンバ装置／COSMOSシリーズ 東京エレクトロンAT(株)New 枚葉成膜装置New 東京エレクトロン(株) (株)ノア・システムズ メタルCVDシステム Applied Materials, Inc. Centura Sprint Tungsten CVD アプライドマテリアルジャパン(株) Genus, Inc. Lynx2 Novellus Systems, Inc. メタルCVD装置New ノベラスシステムズジャパン（株）

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