装置ユニット
ウエハハンドリングシステム
2012年6月4日更新

日本
(株)アイテックNew 製品情報New
(株)秋田製作所 ウエハーローダーアンローダー
伊藤忠産機(株) ウエハ搬送用ロボット/MHR3156-500
(株)エムテーシー 搬送装置
京セラ(株) DLCコーティング搬送アーム
京セラ(株)ファインセラミック部品
(株)サンセーテクニカル 会社案内
(株)ジェーイーエル 半導体用ロボット
(有)ソーラーリサーチ研究所 非接触ハンド&非接触搬送装置
ダイキン工業(株) 真空搬送モジュール
(株)ダイヘン クリーン搬送ロボット
(株)ダイヘン半導体機器カンパニー
タツモ(株) クリーン搬送システム
ナプソン(株) 非接触ウェハーソーター
(株)ハーモテック KUMADE/ウエハ搬送用
(株)日立プラントテクノロジー クリーン搬送設備
平田機工(株) 半導体関連生産設備
(株)富士通東北エレクトロニクス キャリア連続供給装置
三井鉱山マテリアル(株) シリコンウエハー搬送用部品
三益半導体工業(株) 組立・検査装置/ウェーハ搬送装置
(株)メイキコウ クリーンシステム事業
明昌機工(株) 営業領域
(株)安川電機 半導体ウエハ搬送
ローツェ(株) ウエハ搬送
海外
Amtech Systems, Inc. 横型炉ウエハ自動移載機
(株)ディー・エス・アイ
Asyst Technologies, Inc. Wafer搬送製品
アシストジャパン(株)
Genmark Automation, Inc. ウエハ搬送大気ロボット
イースタン技研(株)
Genmark Automation,Inc. ウエハー・FPD搬送ロボット
(株)GSIクレオス
(株)GSIクレオス産業機材部
Motion Engineering, Inc. Advanced Motion Control
モーションエンジニアリング(株)

    
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