装置ユニット
2017年6月16日更新

機械系ユニット
  ハンドリングシステム(34)
  ステージ・干渉計他(21)
  除振システム(6)

電気系ユニット
  高周波電源・各種電源(17)
  省配線・処理・表示他(9)
  ヒータユニット・モニタ(13)
  各種モータ(5)
  各種センサ(12)

光学系ユニット
  エキシマレーザー発振機(9)
  光学系ユニット(7)
  UV・水銀ランプ(10)

制御系ユニット
  プロセスモニター(9)
  マスフローコントローラ(27)
  真空計・コントローラ(10)
  圧力・流量コントローラ(14)
  温調機・チラー(19)

真空ポンプ
  ドライポンプ(34)
  クライオポンプ(21)
  オイルポンプ(20)

その他
  各種装置ユニット(17)New
  ディスペンサ(5)
  ベローズポンプ類(7)
  超音波振動関連(7)

水系ユニット
  オゾン水生成装置(11)

検査組立ユニット
  バーンインボード(4)
  プローブカード(32)
  ICソケット(38)
  金型(17)
  各種検査・組立ユニット(3)

計測器
  リークディテクタ(22)
  T/C付ウエハ(5)
  汎用専用計測器・校正(6)

  
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