| 装置ユニット 2008年5月21日更新 |
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| ・機械系ユニット ハンドリングシステム(32)New ステージ・干渉計他 除振システム ・電気系ユニット 高周波電源・各種電源 省配線・処理・表示他 ヒータユニット・モニタ 各種モータ 各種センサ ・光学系ユニット エキシマレーザー発振機 光学系ユニット UV・水銀ランプ |
・制御系ユニット プラズマモニタ マスフローコントローラ 真空計・コントローラ 圧力・流量コントローラ 温調機・チラー ・真空ポンプ ドライポンプ ブースタ・ターボ・クライオポンプ オイルポンプ ・その他 各種装置ユニット ディスペンサ ベローズポンプ類 |
・検査組立ユニット バーンインボード プローブカード ICソケット 金型 各種検査・組立ユニット ・計測器 リークディテクタ T/C付ウエハ 汎用専用計測器・校正 |
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