装置ユニット
2008年5月21日更新

機械系ユニット
  ハンドリングシステム(32)New
  ステージ・干渉計他
  除振システム

電気系ユニット
  高周波電源・各種電源
  省配線・処理・表示他
  ヒータユニット・モニタ
  各種モータ
  各種センサ

光学系ユニット
  エキシマレーザー発振機
  光学系ユニット
  UV・水銀ランプ

制御系ユニット
  プラズマモニタ
  マスフローコントローラ
  真空計・コントローラ
  圧力・流量コントローラ
  温調機・チラー

真空ポンプ
  ドライポンプ
  ブースタ・ターボ・クライオポンプ
  オイルポンプ

その他
  各種装置ユニット
  ディスペンサ
  ベローズポンプ類

検査組立ユニット
  バーンインボード
  プローブカード
  ICソケット
  金型
  各種検査・組立ユニット

計測器
  リークディテクタ
  T/C付ウエハ
  汎用専用計測器・校正

  
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2001年5月21日より人目のお客様です。