装置ユニット
クライオポンプ
2009年5月3日更新

日本
アイシン精機(株) クライオポンプ
アルバックイーエス(株) クライオポンプ
アルバック・クライオ(株) クライオポンプ
(株)シンクロン コンポーネント
神港精機(株) 真空ポンプ
住友精密工業(株) 油機事業室
大晃機械工業(株) 真空ポンプ
千代田交易(株) 真空ポンプ
ナガセテクノエンジニアリング(株) クライオポンプ
海外
Brooks Automation, Inc. CTI−クライオジェニックス
へリックス テクノロジー(株)
Brooks Automation, Inc. クライオポンプNew
伯東(株)
Edwards 真空ポンプ
エドワーズ(株)
Oerlikon Leybold Vacuum Cryopumps
日本エリコンライボルト(株)
TECO Corp. TMP
Semiconductor Business Unit
Varian, Inc. Vacuum Technologies
Varian,Inc.Vacuum Technologies
アペックス(株) 真空ポンプ

    
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2001年5月21日制定